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这一批尝试用的玻璃,利用海内的顶尖工艺制造的。光刻机当中最关头的一块玻璃,也就是直投玻璃,这块玻璃是最靠近光刻层的,也是最首要的一块玻璃,因为紫外线终究是通过这块玻璃投射到晶圆上面。