这一批尝试用的玻璃，利用海内的顶尖工艺制造的。光刻机当中最关头的一块玻璃，也就是直投玻璃，这块玻璃是最靠近光刻层的，也是最首要的一块玻璃，因为紫外线终究是通过这块玻璃投射到晶圆上面。