光刻是停止集成电路制造的首要环节，其精度、胜利率，能够说直接决定了集成电路制造的品格，和产品良品率凹凸，首要性不管如何拔高，都不为过。

要想晋升集成电路制备品格、出产效力，用主动化仪器代替手工操纵，是见效最快、最轻易实现的，即便是海内较低的主动化测量、节制程度，也能够使得团体程度呈现一个奔腾式跨进。

严格的设备运转前查抄事情，在郭逸铭全部研发职员的谛视下，一丝不苟地停止着。

厂房内一片沉寂，只能听到东西与设备打仗时收回清脆动听的金属碰撞声。

固然他们能够没法做到仅凭肉眼，就将加工精度节制在一丝的范围以内，固然他们还不能如他们的徒弟一样，用一把锉刀，错处宇航级的紧密部件，但这无毛病他们将来操纵着超紧密加工设备，将加工精度进步到纳米级别！

他们在前期设备研制改革过程中，就全程参与此中，一些详细操纵方法还是源于他们的建议，各种操纵流程已经是铭记于胸。在此次开机测试前，他们向郭逸铭拍着胸口包管，哪怕是闭着眼睛，他们也会遵循标准要求，美满地完成设备操纵，毫不会出任何忽略。

在这个期间，海内加工制造业的掉队，不但仅是详细制造工艺上的掉队，更是认识上的掉队。各种对细节的冷视，才培养了全部工艺程度的低下。

在此以外，海内现在的光刻机紫光晖映，是通过透镜聚焦于一点，对部分电路停止光刻以后，再对另一个部分电路停止光刻措置。对比外洋已经风行的伺服电机驱动、紫外光聚核心对掩膜电路停止扫描式暴光，海内的光刻效力非常低下。

操纵员用操纵钳夹出操纵盘中，将硬化后的单晶硅衬底送到相邻的别的一个净洁室内。这里，卖力操纵光刻机的技术职员已经完成了光刻机的预操纵，掩膜版盒也已安装到位，见到呈放单晶硅衬底的操纵盘传送过来，低头再次查抄了一下光刻胶涂抹环境以后，用带着防护手套的手，翻开光刻机舱门，谨慎翼翼将操纵盘安排入内，细心查抄以后，关上舱门。

这不是他为了夸耀研讨统统钱，而用心大手大脚费钱，他只是遵守了最根基的投入/产出规律，做出的适应之举罢了。

一阵轻微的欢笑声，在人群中响起，随即便敏捷重归安好，未到试运转结束，谁也不敢有涓滴放松。

接下来，将是耗时冗长的化学刻蚀，通过堆积、参杂、离子注射等手腕，天生电路、元器件。每一种部件的制造，都需求反复一遍上述环节，全部集成电路的制造将破钞数日的时候。以是真正的集成电路的制造都是采取流水线功课，而不会像此次一样，只用数片单晶硅停止少量试制。完整的集成电路制造，郭逸铭他们是不成能在明天内就看完整的。