郭逸铭为了照顾他们的情感，对于他们犯的任何错，向来都是节制住他的情感，未曾有一句重话，老是讲事理掰碎了，非常耐烦地对他们停止压服、讲授、阐发，让他们本身明白如许做对紧密加工质量晋升带来的负面影响。

郭逸铭对此感到深深的忧愁。

当初中美电子研讨地点扶植初期，为了缩长工期、尽快投入利用，并出于节俭本钱角度考虑，这个设备车间采取的是简易房布局，遮风避雨没有题目，却没法反对氛围中的纤细灰尘从大门、气窗飘出去，落在设备、测量探头上。

他们对设备的改革，完美地达到了当初的设想要求！

他回到节制位，按工艺流程，快速地在节制仪表盘长停止各项操纵：开释掩膜版盒、锁定、挑选掩膜版编号、节制所需编号掩膜版放下、输入暴光率、焦深、能量输出强度等各项数据，并通过显现屏查对输入是否精确。统统确认无误，他按动启动开关，机器声轻微嗡鸣，光刻机开端自开事情。

可也是他，眼看着用款项堆砌起来的干净厂房，神情黯然对郭逸铭道：“小郭啊，如果我们都照你这个厂房标准来扶植，我们就是不吃不喝、把十年的研讨经费投出去也不敷花。如许的一个厂，我们是真的用不起啊！难怪外洋的超紧密制造业投入是越来越大！又是超净厂房、又是代价高贵的超紧密制造设备，这本钱如何能够低得下来！”

固然他们能够没法做到仅凭肉眼，就将加工精度节制在一丝的范围以内，固然他们还不能如他们的徒弟一样，用一把锉刀，错处宇航级的紧密部件，但这无毛病他们将来操纵着超紧密加工设备，将加工精度进步到纳米级别！

统统人都被这个庞大的耗损给吓坏了，以为郭逸铭实在是太小题大做，不把钱当钱用了。

这个成果，将是对他们这几个月辛苦事情的最好查验。

光刻部分，这个流程是在光刻机内部完成，统统人都看不到详细过程，只能冷静等候。

操纵员挑选关机，遵循操纵流程封闭氮气阀门、紧缩氛围、真空，稍等一阵，开仓取出光刻完成的操纵盘，放进入显影设备中，浸泡在显影液中停止显影措置。这套浸泡显影、洗濯等流程也采取了全主动操纵，操纵员也如同旁观的郭逸铭他们一样，只能紧盯着节制屏幕，而再也不必亲身脱手节制。

通过不竭改进、尝试，设置了大量的传感器、伺服电机、自控法度，按照野生操纵采样成果，采取预制步调的体例，为如何将本来交由野生节制的各种操纵尽能够减到起码，他们绞尽脑汁。

以是董美堂他们底子不敢期望，具有一座如同郭逸铭他们这类超高品级的超净厂房。他们前来观光，更多的是抱着汇集第一手质料，比及海内将来资金充盈今后，能够为扶植与之近似、或是更好的超净厂房作质料汇集。